WF6 utamané dipigunakaké minangka bahan baku kanggo proses deposisi uap kimia (CVD) saka tungsten logam ing industri elektronik. WSi2 sing digawe saka WF6 bisa digunakake minangka bahan kabel ing sirkuit terpadu skala gedhe (LSI), lan uga bisa digunakake minangka bahan baku kanggo elektroda semikonduktor, bahan baku fluorine kanggo agen kimia, katalis polimerisasi, bahan optik, lsp.